Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Development of MeV Ion beam lithography technique for microfluidic applications = การพัฒนาเทคนิคโธกราฟีที่ใช้ลำไอออนพลังงานระดับเอ็มอีวี สำหรับการประยุกต์ของไหลระดับไมครอน / Nitipon Puttaraksa
Authors: Nitipon Puttaraksa
Keywords: Lithography -- Technique
Issue Date: 2011
Publisher: Chiang Mai : The Graduate School ,Chiang Mai University, 2011
Gov't Doc #: Th 763 N729D
Appears in Collections:SCIENCE: Theses

Items in CMUIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.